Facing the defect characterization and localization challenges of bridge defects on submicronic technology (45nm and below) - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Facing the defect characterization and localization challenges of bridge defects on submicronic technology (45nm and below)

Guillaume Celi
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 764109
  • IdRef : 173748430
Sylvain Dudit
  • Fonction : Auteur
Philippe Perdu
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 839676
Centre National d'Études Spatiales [Toulouse]
A. Reverdy
  • Fonction : Auteur
T. Parrassin
  • Fonction : Auteur
E. Bechet
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Dean Lewis
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
Maxime Vallet

Domaines

Electronique

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https://hal.science/hal-00585662

Soumis le : mercredi 13 avril 2011-16:42:52

Dernière modification le : samedi 1 juillet 2023-04:29:03

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00585662 , version 1 (13-04-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00585662 , version 1

Citer

Guillaume Celi, Sylvain Dudit, Philippe Perdu, A. Reverdy, T. Parrassin, et al.. Facing the defect characterization and localization challenges of bridge defects on submicronic technology (45nm and below). 20th European Symposium Reliability on Electron Devices, Failure Physics and Analysis (ESREF) 2010, Oct 2010, Monteccassino, Italy. pp.1. ⟨hal-00585662⟩

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