Sacrificial layer method applied to multilayer microcomponents production

Type de document :
Communication dans un congrès
Tech-connect Meeting, 2009, Houston, United States. 2 p., 2009
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Contributeur : Isabelle Dufour <>
Soumis le : mardi 12 avril 2011 - 21:31:10
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:21:09

Identifiants

  • HAL Id : hal-00585445, version 1

Citation

Claude Lucat, J. Chartier. Sacrificial layer method applied to multilayer microcomponents production. Tech-connect Meeting, 2009, Houston, United States. 2 p., 2009. 〈hal-00585445〉

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