Elaboration de surfaces modèles à géométrie complexe pour évaluation des performances des procédés de synthèse de couches minces

Karine Blary; Pierre-Yves Tessier

Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Elaboration de surfaces modèles à géométrie complexe pour évaluation des performances des procédés de synthèse de couches minces

(1) , (2)

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2

Karine Blary

Fonction : Auteur
PersonId : 745540
IdHAL : karine-blary
IdRef : 080662269

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

Pierre-Yves Tessier

Fonction : Auteur
PersonId : 1017140
IdHAL : pierre-yves-tessier
IdRef : 153617037

Université de Nantes

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

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https://hal.science/hal-00574428

Soumis le : mardi 8 mars 2011-09:42:30

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Dates et versions

hal-00574428 , version 1 (08-03-2011)

Identifiants

HAL Id : hal-00574428 , version 1

Citer

Karine Blary, Pierre-Yves Tessier. Elaboration de surfaces modèles à géométrie complexe pour évaluation des performances des procédés de synthèse de couches minces. Matériaux 2010, 2010, Nantes, France. ⟨hal-00574428⟩

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