Actuation and sensing integration challenges at the microscale : the Gordian Knot of the resonant bioMEMS realm - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Actuation and sensing integration challenges at the microscale : the Gordian Knot of the resonant bioMEMS realm

Liviu Nicu
Thomas Alava
  • Fonction : Auteur
Fabrice Mathieu
Cédric Ayela
Caroline Soyer
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00568981 , version 1 (24-02-2011)

Identifiants

Citer

Liviu Nicu, Thomas Alava, Fabrice Mathieu, Cédric Ayela, Caroline Soyer, et al.. Actuation and sensing integration challenges at the microscale : the Gordian Knot of the resonant bioMEMS realm. 64th IEEE International Frequency Control Symposium, FCS 2010, 2010, United States. pp.77-80, ⟨10.1109/FREQ.2010.5556369⟩. ⟨hal-00568981⟩
24 Consultations
0 Téléchargements

Altmetric

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More