Piezoelectric-actuated, piezoresistive-sensed circular micromembranes for label-free biosensing applications - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Applied Physics Letters Année : 2010

Piezoelectric-actuated, piezoresistive-sensed circular micromembranes for label-free biosensing applications

Thomas Alava
  • Fonction : Auteur
Fabrice Mathieu
  • Fonction : Auteur
P. Rameil
  • Fonction : Auteur
Y. Morel
  • Fonction : Auteur
Caroline Soyer
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Denis Remiens
Liviu Nicu

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]
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Dates et versions

hal-00567894 , version 1 (30-05-2022)

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Citer

Thomas Alava, Fabrice Mathieu, P. Rameil, Y. Morel, Caroline Soyer, et al.. Piezoelectric-actuated, piezoresistive-sensed circular micromembranes for label-free biosensing applications. Applied Physics Letters, 2010, 97, pp.093703-1-3. ⟨10.1063/1.3486112⟩. ⟨hal-00567894⟩

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