Propriétés diélectriques basse et haute fréquence de couches minces pérovskites oxynitrures LaTiOxNy déposées sur différents substrats

Yu Lu (1) , Ahmed Ziani (1) , Didier Fasquelle (2) , Hussein Kassem (3) , Claire Le Paven-Thivet (1) , Laurent Le Gendre (4) , Ratiba Benzerga (1) , Franck Tessier (5) , Valerie Vigneras (6) , Jean-Claude Carru (2) , Ala Sharaiha (4)

1 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
2 LEMCEL - Laboratoire d'Etude des Matériaux et des Composants pour l'Electronique
3 IMS-Bordeaux laboratory
4 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
5 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes
6 IMS - Laboratoire de l'intégration, du matériau au système

Domaines: Matériaux

Yu Lu, Ahmed Ziani, Didier Fasquelle, Hussein Kassem, Claire Le Paven-Thivet, et al.. Propriétés diélectriques basse et haute fréquence de couches minces pérovskites oxynitrures LaTiOxNy déposées sur différents substrats. Journées Caractérisation Microondes Matériaux JCMM, Mar 2010, Brest, France. ⟨hal-00567669⟩