Reactive sputtering deposition of perovskite LaTiO_xN_y films using a stoichiometric oxynitride LaTiO₂N target

Claire Le Paven-Thivet (1) , Ratiba Benzerga (1) , Yu Lu (1) , Ahmed Ziani (1) , Laurent Le Gendre (2) , Franck Tessier (3) , François Cheviré (3) , Ala Sharaiha (2)

1 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
2 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
3 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes

Domaines: Matériaux

Claire Le Paven-Thivet, Ratiba Benzerga, Yu Lu, Ahmed Ziani, Laurent Le Gendre, et al.. Reactive sputtering deposition of perovskite LaTiO_xN_y films using a stoichiometric oxynitride LaTiO₂N target. 9th International Conference on Reactive Sputtering Deposition 2010, Dec 2010, Ghent, Belgium. ⟨hal-00567554⟩