Conception dun microsystème acoustique permettant la caractérisation ultrasonore haute fréquence en transmission
Résumé
Lintégration de miroirs à 45° dans des substrats de silicium a permis de générer des ondes ultrasonores longitudinales ou transversales hautes fréquences, dans une direction parallèle au plan de la surface. Cette disposition permet de dissocier la face du wafer utilisée pour intégrer les éléments acoustiques associés à leur électronique, de la face utilisée pour les dispositifs microfluidiques. Ceci peut être utilisé en vue de caractériser en transmission des objets dans un canal microfluidique sur silicium. Les applications concernées sont la mesure des propriétés mécaniques de cellules biologiques, les propriétés viscoélastiques de fluides, la caractérisation de milieux périodiques structurés
Les modèles de simulation utilisant Comsol ont permis détudier la propagation de différentes ondes dans lensemble du dispositif acoustique pour une géométrie donnée. Ils ont conduit à une optimisation de la position du transducteur récepteur dans un mode en transmission. Les mesures ont confirmé ces résultats par observation des échos des ondes longitudinales et transversales. Un dispositif expérimental fonctionnant à 1 GHz a été réalisé et ses caractéristiques électriques et acoustiques sont présentées.