Bottom and top electrodes nature and PZT film thickness influence on electrical properties

N. Sama; Caroline Soyer; Denis Remiens; C. Verrue; R. Bouregba

doi:10.1016/j.sna.2009.11.032

Article Dans Une Revue Sensors and Actuators A: Physical Année : 2010

Bottom and top electrodes nature and PZT film thickness influence on electrical properties

, , (1) , ,

1

N. Sama

Fonction : Auteur
PersonId : 760861
ORCID : 0000-0002-9761-4687

Caroline Soyer

Fonction : Auteur
PersonId : 748061
IdHAL : caroline-soyer

Denis Remiens

Fonction : Auteur
PersonId : 751690
IdHAL : denis-remiens
ORCID : 0000-0002-6761-1442

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

C. Verrue

Fonction : Auteur

R. Bouregba

Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00549503

Soumis le : mercredi 22 décembre 2010-10:10:33

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Dates et versions

hal-00549503 , version 1 (22-12-2010)

Identifiants

HAL Id : hal-00549503 , version 1
DOI : 10.1016/j.sna.2009.11.032

Citer

N. Sama, Caroline Soyer, Denis Remiens, C. Verrue, R. Bouregba. Bottom and top electrodes nature and PZT film thickness influence on electrical properties. Sensors and Actuators A: Physical , 2010, 158, pp.99-105. ⟨10.1016/j.sna.2009.11.032⟩. ⟨hal-00549503⟩

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