Article Dans Une Revue
IEEE Electron Device Letters
Année : 2010
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00548984
Soumis le : mardi 21 décembre 2010-09:51:45
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Citer
M. Sworowski, F. Neuilly, Bernard Legrand, A. Summanwar, P. Philippe, et al.. Fabrication of 24-MHz-disk resonators with silicon passive integration technology. IEEE Electron Device Letters, 2010, 31, pp.23-25. ⟨10.1109/LED.2009.2034542⟩. ⟨hal-00548984⟩
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