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Conference papers

Fabrication d'Oscillateurs Haute Fréquence (GHz) à base de Résonateurs SAW sur Substrat en Carbone Diamant

Résumé : De nombreux travaux ont été consacrés à évaluer l'intérêt de l'utilisation de substrats en Carbone Diamant pour la fabrication de dispositifs radiofréquences fonctionnant à très haute fréquence (GHz), et basés sur la technologie SAW (Surface Acoustique Waves). L'intérêt principal de ce matériau réside dans sa très grande vitesse de phase (de l'ordre de 10km.s-1). Nous présenterons le travail issu de la collaboration entre différents groupes de recherche dont le but est d'identifier précisément les capacités de tels substrats pour la fabrication d'oscillateurs RF stabilisés, dans la gamme 5GHz - 10GHz. Le choix de la meilleure configuration a déjà été étudié lors de travaux précédents(1). Elle se compose d'un multicouche : substrat / Carbone diamant (5µm) / couche piézoélectrique (ZnO). Les dispositifs SAW proprement dit sont fabriqués par lithographie électronique. Nous montrerons nos derniers travaux concernant l'optimisation des caractéristiques de la couche piézoélectrique qui nous ont permis d'atteindre des produits QF (facteurs de qualité x fréquence) supérieurs à 10^12 pour des résonateurs doubles ports. Les oscillateurs à contre-réaction ainsi fabriqués seront caractérisés (bruit de phase) et les résultats seront comparés avec la théorie. (1) R. Salut et al, Fabrication of GHz range oscillators stabilized by nano-carbon-diamond-based surface acoustic resonators, Proc. of the IEEE IUS, Rome, 2009
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Cited literature [1 references]  Display  Hide  Download

https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00542874
Contributor : Quentin Leclere Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, December 3, 2010 - 5:32:20 PM
Last modification on : Wednesday, March 23, 2022 - 3:50:14 PM
Long-term archiving on: : Friday, March 4, 2011 - 4:15:13 AM

File

000360.pdf
Explicit agreement for this submission

Identifiers

  • HAL Id : hal-00542874, version 1

Citation

Roland Salut, Badreddine Assouar, Omar Elmazria, Fabien Benedic, Celine Gesset, et al.. Fabrication d'Oscillateurs Haute Fréquence (GHz) à base de Résonateurs SAW sur Substrat en Carbone Diamant. 10ème Congrès Français d'Acoustique, Apr 2010, Lyon, France. ⟨hal-00542874⟩

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