Fabrication d'Oscillateurs Haute Fréquence (GHz) à base de Résonateurs SAW sur Substrat en Carbone Diamant - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Fabrication d'Oscillateurs Haute Fréquence (GHz) à base de Résonateurs SAW sur Substrat en Carbone Diamant

Celine Gesset
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 861769
Samuel Saada
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 884305
Philippe Bergonzo
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 884306
Franck Omnès
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 917879

Résumé

De nombreux travaux ont été consacrés à évaluer l'intérêt de l'utilisation de substrats en Carbone Diamant pour la fabrication de dispositifs radiofréquences fonctionnant à très haute fréquence (GHz), et basés sur la technologie SAW (Surface Acoustique Waves). L'intérêt principal de ce matériau réside dans sa très grande vitesse de phase (de l'ordre de 10km.s-1). Nous présenterons le travail issu de la collaboration entre différents groupes de recherche dont le but est d'identifier précisément les capacités de tels substrats pour la fabrication d'oscillateurs RF stabilisés, dans la gamme 5GHz - 10GHz. Le choix de la meilleure configuration a déjà été étudié lors de travaux précédents(1). Elle se compose d'un multicouche : substrat / Carbone diamant (5µm) / couche piézoélectrique (ZnO). Les dispositifs SAW proprement dit sont fabriqués par lithographie électronique. Nous montrerons nos derniers travaux concernant l'optimisation des caractéristiques de la couche piézoélectrique qui nous ont permis d'atteindre des produits QF (facteurs de qualité x fréquence) supérieurs à 10^12 pour des résonateurs doubles ports. Les oscillateurs à contre-réaction ainsi fabriqués seront caractérisés (bruit de phase) et les résultats seront comparés avec la théorie. (1) R. Salut et al, Fabrication of GHz range oscillators stabilized by nano-carbon-diamond-based surface acoustic resonators, Proc. of the IEEE IUS, Rome, 2009
Fichier principal
Vignette du fichier
000360.pdf (987.81 Ko) Télécharger le fichier
Origine : Accord explicite pour ce dépôt
Loading...

Dates et versions

hal-00542874 , version 1 (03-12-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00542874 , version 1

Citer

Roland Salut, Badreddine Assouar, Omar Elmazria, Fabien Benedic, Celine Gesset, et al.. Fabrication d'Oscillateurs Haute Fréquence (GHz) à base de Résonateurs SAW sur Substrat en Carbone Diamant. 10ème Congrès Français d'Acoustique, Apr 2010, Lyon, France. ⟨hal-00542874⟩
674 Consultations
425 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More