Influence of substrate properties and process parameters on glass-to-glass direct bonding
Isabelle Savin de Larclause
(1)
,
Frédéric Lebon
(2)
,
Eric Prieto
(3)
,
Hélène Combes
(1)
,
Sonia Ait Zaid
(1)
,
Adnane Boukamel
(2)
,
Iulian Rosu
(2)
,
Yves Salaun
(4)
,
Arnaud Etcheberry
(5)
Frédéric Lebon
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : frederic-lebon
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Hélène Combes
- Fonction : Auteur
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Adnane Boukamel
- Fonction : Auteur
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Arnaud Etcheberry
- Fonction : Auteur
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