Carbon nanotubes integration for microelectronics interconnection

Hermane Mbitsi (1) , Eliane Amin-Chalhoub (1) , Mireille Gaillard (1) , Chantal Boulmer-Leborgne (1) , Nadjib Semmar (1) , Eric Millon (1) , Agnes Petit (1) , Jacky Mathias (1) , Sébastien Kouassi (2) , Patrick Simon (3) , Jean-Baptiste Quoirin (2)

1 GREMI - Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
2 ST-TOURS - STMicroelectronics [Tours]
3 CEMHTI - Conditions Extrêmes et Matériaux : Haute Température et Irradiation

Domaines: Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Hermane Mbitsi, Eliane Amin-Chalhoub, Mireille Gaillard, Chantal Boulmer-Leborgne, Nadjib Semmar, et al.. Carbon nanotubes integration for microelectronics interconnection. E-MRS 2010 Spring Meeting, Jun 2010, Strasbourg, France. ⟨hal-00494446⟩