Integration and optimisation of PZT piezoelectric thin films in micro and nano dimensional structures - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Micro and Nanosystems Année : 2009

Integration and optimisation of PZT piezoelectric thin films in micro and nano dimensional structures

Denis Remiens
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Caroline Soyer
David Troadec
D. Deresmes
CV
D. Jenkins
  • Fonction : Auteur
R. Liang
  • Fonction : Auteur
Gang Wang
  • Fonction : Auteur
X. Dong
  • Fonction : Auteur
A. da Costa
  • Fonction : Auteur
R. Desfeux

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https://hal.science/hal-00473719

Soumis le : vendredi 16 avril 2010-11:09:48

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00473719 , version 1 (16-04-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00473719 , version 1

Citer

Denis Remiens, Caroline Soyer, David Troadec, D. Deresmes, D. Jenkins, et al.. Integration and optimisation of PZT piezoelectric thin films in micro and nano dimensional structures. Micro and Nanosystems, 2009, 1, pp.214-225. ⟨hal-00473719⟩

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