Impact of modelisation pixel size on OPC consistency - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering Année : 2009

Impact of modelisation pixel size on OPC consistency

F. Foussadier
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E. Yesilada
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J.C. Le-Denmat
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Y. Trouiller
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V. Farys
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STMicroelectronics [Crolles]
F. Robert
G. Kerrien
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C. Gardin
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L. Perraud
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F. Vautrin
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C. Martinelli
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M.K. Top
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STMicroelectronics [Crolles]
Laboratoire des technologies de la microélectronique

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Soumis le : mercredi 10 mars 2010-10:44:51

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:00:55

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hal-00462562 , version 1 (10-03-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00462562 , version 1

Citer

F. Foussadier, E. Yesilada, J.C. Le-Denmat, Y. Trouiller, V. Farys, et al.. Impact of modelisation pixel size on OPC consistency. Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering, 2009, volume: 7274, pp.727416-7. ⟨hal-00462562⟩

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