Resolving contact conflict for double patterning split - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Resolving contact conflict for double patterning split

N. Zeggaoui
  • Fonction : Auteur
Y. Troullier
  • Fonction : Auteur
E. Yesilada
  • Fonction : Auteur
F. Robert
J. Belledent
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00461055 , version 1 (03-03-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00461055 , version 1

Citer

N. Zeggaoui, V. Farys, Y. Troullier, E. Yesilada, F. Robert, et al.. Resolving contact conflict for double patterning split. BACUS conference, 2009, Monterey USA, United States. ⟨hal-00461055⟩
40 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More