Monitoring of critical dimensions of bidimensional gratings by spectroscopic ellipsometry and Mueller matrix polarimetry

Martin Foldyna (1) , Antonello de Martino (1) , Enric Garcia-Caurel (1) , Razvigor Ossikovski (1) , François Bertin (2) , Jérôme Hazart (2) , Kamil Postava , Bernard Drévillon (1)

1 LPICM - Laboratoire de physique des interfaces et des couches minces [Palaiseau]
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Domaines: Optique [physics.optics]

Martin Foldyna, Antonello de Martino, Enric Garcia-Caurel, Razvigor Ossikovski, François Bertin, et al.. Monitoring of critical dimensions of bidimensional gratings by spectroscopic ellipsometry and Mueller matrix polarimetry. physica status solidi (a), 2008, 205, pp.806. ⟨hal-00458680⟩