Determination of the electron temperature by optical emission spectroscopy in a 13.56 MHz dusty methane plasma: Influence of the power - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Applied Physics Année : 2009

Determination of the electron temperature by optical emission spectroscopy in a 13.56 MHz dusty methane plasma: Influence of the power

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

Andre Plain  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00444357

Soumis le : mercredi 6 janvier 2010-14:34:08

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:52

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Dates et versions

hal-00444357 , version 1 (06-01-2010)

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Citer

Véronique Massereau-Guilbaud, Isabelle Géraud-Grenier, Andre Plain. Determination of the electron temperature by optical emission spectroscopy in a 13.56 MHz dusty methane plasma: Influence of the power. Journal of Applied Physics, 2009, pp.106, 113305. ⟨10.1063/1.3267292⟩. ⟨hal-00444357⟩

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