Communication Dans Un Congrès
Année : 2007
Remi Dussart : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00444252
Soumis le : mercredi 6 janvier 2010-11:36:21
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:52
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00444252 , version 1
Citer
Corinne Y. Duluard, Remi Dussart, Laurianne E. Pichon, El-Houcine Oubensaid, Philippe Lefaucheux, et al.. Neutral production in SF6/SiCl4 inductively coupled plasmas. 60th Gaseous Electronics Conference, Oct 2007, Arlington, United States. ⟨hal-00444252⟩
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