A study on SF6/SiCl4 inductively coupled plasma by mass spectrometry and optical emission spectroscopy - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007

A study on SF6/SiCl4 inductively coupled plasma by mass spectrometry and optical emission spectroscopy

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

Remi Dussart  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00444208

Soumis le : mercredi 6 janvier 2010-10:54:40

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:52

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Dates et versions

hal-00444208 , version 1 (06-01-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00444208 , version 1

Citer

Corinne Y. Duluard, Remi Dussart, Laurianne E. Pichon, Philippe Lefaucheux, Michel Puech, et al.. A study on SF6/SiCl4 inductively coupled plasma by mass spectrometry and optical emission spectroscopy. 16th International Colloquium on Plasma Processes, Jun 2007, France. ⟨hal-00444208⟩

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