Applications of various optical techniques for ESD defect localization

Type de document :
Communication dans un congrès
European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and analysis (ESREF), 2006, wuppertal, Germany. pp.1563-1568, 2006
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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00401519
Contributeur : Frédéric Darracq <>
Soumis le : vendredi 3 juillet 2009 - 12:02:38
Dernière modification le : samedi 27 octobre 2018 - 01:24:28

Identifiants

  • HAL Id : hal-00401519, version 1

Citation

Fabien Essely, Frédéric Darracq, Vincent Pouget, Mustapha Remmach, Félix Beaudoin, et al.. Applications of various optical techniques for ESD defect localization. European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and analysis (ESREF), 2006, wuppertal, Germany. pp.1563-1568, 2006. 〈hal-00401519〉

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