Mesoporous thin films as versatile sensitive matrices on Love wave devices for fast sub-ppm vapor detection

Gregory Tortissier (1) , Laurianne Blanc (1) , Angelique Tetelin (1) , Jacques Pistré (1) , Jean-Luc Lachaud (1) , Cédric Boissière (2) , Clément Sanchez (2) , Corinne Dejous (1) , Dominique Rebière (1)

1 IMS - Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
2 LCMCP (site Paris VI) - Laboratoire de Chimie de la Matière Condensée de Paris (site Paris VI)

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Gregory Tortissier, Laurianne Blanc, Angelique Tetelin, Jacques Pistré, Jean-Luc Lachaud, et al.. Mesoporous thin films as versatile sensitive matrices on Love wave devices for fast sub-ppm vapor detection. 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and microsystems (TRANSDUCERS'2009), Jun 2009, Denver CO, United States. pp.xx-xx. ⟨hal-00401270⟩