Ash plasma exposure of hybrid material (SiOCH and porogen) - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Ash plasma exposure of hybrid material (SiOCH and porogen)

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00400650

Soumis le : mercredi 1 juillet 2009-13:15:03

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-18:23:39

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00400650 , version 1 (01-07-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00400650 , version 1

Citer

Maxime Darnon, T. Chevolleau, T. David, L. Vallier, J. Torres, et al.. Ash plasma exposure of hybrid material (SiOCH and porogen). 54th International AVS symposium, 2007, seattle, United States. ⟨hal-00400650⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CEA UGA CNRS FMNT LTM PLASMA_ETCHING
69 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More