Communication Dans Un Congrès
Année : 2007
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00399993
Soumis le : lundi 29 juin 2009-15:16:31
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:09:13
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00399993 , version 1
Citer
T. Chevolleau, Maxime Darnon, T. David, D. Perret, J. Torres, et al.. Metallic versus Organic Hard Mask Strategies for Advanced Dielectric Trenches Patterning. Proceeding of DPS, Symposium on Dry Process, 2007, tokyo, Japan. ⟨hal-00399993⟩
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