Evaluation of ellipsometric porosimetry for in-line characterization of low- dielectrics - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Evaluation of ellipsometric porosimetry for in-line characterization of low- dielectrics

C. Licitra
Maxime Darnon
Laboratoire des technologies de la microélectronique
CV
T. Chevolleau
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
S. Cetre
  • Fonction : Auteur
H. Fontaine
  • Fonction : Auteur
A. Zenasni
  • Fonction : Auteur
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
L.L. Chapelon
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00398872

Soumis le : jeudi 25 juin 2009-09:31:22

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00398872 , version 1 (25-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00398872 , version 1

Citer

C. Licitra, Maxime Darnon, T. Chevolleau, S. Cetre, H. Fontaine, et al.. Evaluation of ellipsometric porosimetry for in-line characterization of low- dielectrics. ISCE, 4th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry, 2007, stockolm, Sweden. ⟨hal-00398872⟩

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