Implementing laser-based failure analysis methodologies using test vehicles

Type de document :
Article dans une revue
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2005, pp.279-288
Liste complète des métadonnées

https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00397918
Contributeur : Frédéric Darracq <>
Soumis le : mardi 23 juin 2009 - 16:14:20
Dernière modification le : jeudi 4 octobre 2018 - 11:14:07

Identifiants

  • HAL Id : hal-00397918, version 1

Citation

Dean Lewis, Vincent Pouget, Félix Beaudoin, G. Haller, Phillipe Perdu, et al.. Implementing laser-based failure analysis methodologies using test vehicles. IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2005, pp.279-288. 〈hal-00397918〉

Partager

Métriques

Consultations de la notice

112