Undulation of sub-100 nm porous dielectric structures: A mechanical analysis

Maxime Darnon (1) , T. Chevolleau (1) , O. Joubert (1) , S. Maitrejean (2) , J.C. Barbe , J. Torres

1 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]

Maxime Darnon, T. Chevolleau, O. Joubert, S. Maitrejean, J.C. Barbe, et al.. Undulation of sub-100 nm porous dielectric structures: A mechanical analysis. Applied Physics Letters, 2007, 91 (19), ⟨10.1063/1.2805774⟩. ⟨hal-00397092⟩