Article Dans Une Revue
Journal of Optoelectronics and Advanced Materials
Année : 2008
Richard BASCHERA : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00396552
Soumis le : jeudi 18 juin 2009-14:23:07
Dernière modification le : lundi 29 janvier 2024-11:34:30
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00396552 , version 1
Citer
A. Bousquet, Agnès A. Granier, G. Cartry, Antoine Goullet. Kinetics of O and H atoms in pulsed O-2/HMDSO low pressure PECVD plasmas. Journal of Optoelectronics and Advanced Materials, 2008, 10 (8), pp.1999. ⟨hal-00396552⟩
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