Growth study of CVD Au calayzed Si nanowires and integration in an organized nanoporous alumina template

P. Gentile (1) , T. David (1) , D. Buttard (1) , M. den Hertog (2) , J.L. Rouviere (2) , F. Dhalluin (3) , T. Baron (3)

1 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
2 LEMMA - Laboratoire d'Etude des Matériaux par Microscopie Avancée
3 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique

Domaines: Matière Condensée [cond-mat]; Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]; Génie des procédés; Matériaux

P. Gentile, T. David, D. Buttard, M. den Hertog, J.L. Rouviere, et al.. Growth study of CVD Au calayzed Si nanowires and integration in an organized nanoporous alumina template. MRS Fall Meeting Boston, Symposium Q, 2006, boston, United States. ⟨hal-00395869⟩