Fabrication of Well-Organized and Densely Packed Si Nanopillars Containing SiGe Nanodots by Using Block Copolymer Templates - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Chemistry of Materials Année : 2008

Fabrication of Well-Organized and Densely Packed Si Nanopillars Containing SiGe Nanodots by Using Block Copolymer Templates

K. Aissou
  • Fonction : Auteur
T. Baron
Laboratoire des technologies de la microélectronique
M. Kogelschatz
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
M. den Hertog
J.L. Rouviere
CV
J.M Hartmann
  • Fonction : Auteur
B. Pelissier
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique

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https://hal.science/hal-00394788

Soumis le : vendredi 12 juin 2009-14:53:44

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:16:43

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00394788 , version 1 (12-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00394788 , version 1

Citer

K. Aissou, T. Baron, M. Kogelschatz, M. den Hertog, J.L. Rouviere, et al.. Fabrication of Well-Organized and Densely Packed Si Nanopillars Containing SiGe Nanodots by Using Block Copolymer Templates. Chemistry of Materials, 2008, pp.20 6183-6188. ⟨hal-00394788⟩

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