Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2006
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00394748
Soumis le : vendredi 12 juin 2009-14:01:55
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:52:26
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00394748 , version 1
Citer
J. Tallal, M. Gordon, K. Berton, A.L Charley, D. Peyrade. AFM characterization of anti-sticking layers used in nanoimprint. Microelectronic Engineering, 2006, pp.83 (2006) 851-854. ⟨hal-00394748⟩
109
Consultations
0
Téléchargements