15nm-diameter 3D Stacked Nanowires with optional Independent Gates operation (?FET)

C. Dupré , A. Hubert , S. Bécu , M. Jublot , V. Maffini-Alvaro , C. Vizioz , F. Aussenac , C. Arvet , S. Barnola , J.-M. Hartmann , G. Garnier , F. Allain , J.-P. Colonna , M. Rivoire , L. Baud , S. Pauliac , V. Loup , P. Rivallin , G. Ghibaudo (1) , O. Faynot , T. Ernst , S. Deleonibus

1 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

C. Dupré, A. Hubert, S. Bécu, M. Jublot, V. Maffini-Alvaro, et al.. 15nm-diameter 3D Stacked Nanowires with optional Independent Gates operation (?FET). IEEE International Electron Devices Meeting 2008, San Francisco, USA, Dec 2008, Grenoble, France. ⟨hal-00392154⟩