Investigation of O-atom kinetics in O-2, CO2, H2O and O-2/HMDSO low pressure radiofrequency pulsed plasmas by time-resolved optical emission spectroscopy

A. Bousquet; G. Cartry; Agnès A. Granier

doi:10.1088/0963-0252/16/3/020

Article Dans Une Revue Plasma Sources Science and Technology Année : 2007

Investigation of O-atom kinetics in O-2, CO2, H2O and O-2/HMDSO low pressure radiofrequency pulsed plasmas by time-resolved optical emission spectroscopy

, , (1)

1

A. Bousquet

Fonction : Auteur
PersonId : 740351
IdHAL : angeliquebousquet
ORCID : 0000-0001-8493-5468
IdRef : 096417986

CV

G. Cartry

Fonction : Auteur
PersonId : 177934
IdHAL : gilles-cartry
ORCID : 0000-0002-6081-0350
IdRef : 109300688

Agnès A. Granier

Fonction : Auteur

Institut des Matériaux Jean Rouxel

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Richard BASCHERA : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00390677

Soumis le : mardi 2 juin 2009-15:35:26

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12

Dates et versions

hal-00390677 , version 1 (02-06-2009)

Identifiants

HAL Id : hal-00390677 , version 1
DOI : 10.1088/0963-0252/16/3/020

Citer

A. Bousquet, G. Cartry, Agnès A. Granier. Investigation of O-atom kinetics in O-2, CO2, H2O and O-2/HMDSO low pressure radiofrequency pulsed plasmas by time-resolved optical emission spectroscopy. Plasma Sources Science and Technology, 2007, 16 (3), pp.597. ⟨10.1088/0963-0252/16/3/020⟩. ⟨hal-00390677⟩

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