Investigation of capillary bridges growth in NIL process

S. Landis (1) , N. Chaix (2) , C. Gourgon (2) , D. Hermelin , T. Leveder (1)

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique

S. Landis, N. Chaix, C. Gourgon, D. Hermelin, T. Leveder. Investigation of capillary bridges growth in NIL process. Microelectronic Engineering, 2007, 84, pp.940-944. ⟨hal-00385784⟩