Article Dans Une Revue
Journal of Physics D: Applied Physics
Année : 2005
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00385736
Soumis le : mercredi 20 mai 2009-09:08:11
Dernière modification le : lundi 12 février 2024-15:17:35
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00385736 , version 1
Citer
C. Gourgon, C. Perret, J. Tallal, F. Lazzarino, S. Landis, et al.. Uniformity across 200 mm silicon wafers printed by nanoimprint lithography. Journal of Physics D: Applied Physics, 2005, pp.38 (1) 2005 70-73. ⟨hal-00385736⟩
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