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Article Dans Une Revue Journal of Vacuum Science and Technology Année : 2003

Influence of pattern density in NanoImprint Lithography

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00385725

Soumis le : mercredi 20 mai 2009-08:43:06

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:20:46

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Dates et versions

hal-00385725 , version 1 (20-05-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00385725 , version 1

Citer

C. Gourgon, C. Perret, G. Micouin, F. Lazzarino, J.H. Tortai, et al.. Influence of pattern density in NanoImprint Lithography. Journal of Vacuum Science and Technology, 2003, B 21 (1), pp.98-105. ⟨hal-00385725⟩

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