UV impact on the optical properties of thin films of positive tone chemically amplified resist. - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2008

UV impact on the optical properties of thin films of positive tone chemically amplified resist.

J.H. Tortai
Laboratoire des technologies de la microélectronique
H. Trouvé
  • Fonction : Auteur
S. Soulan
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
Ayse Akbalik
Laboratoire des technologies de la microélectronique

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https://hal.science/hal-00385126

Soumis le : lundi 18 mai 2009-14:16:48

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:41:44

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00385126 , version 1 (18-05-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00385126 , version 1

Citer

J.H. Tortai, H. Trouvé, S. Soulan, Ayse Akbalik. UV impact on the optical properties of thin films of positive tone chemically amplified resist.. In Proceedings MNE 2008, Micro and Nano Engineering. Athens, Greece., Sep 2008, Greece. ⟨hal-00385126⟩

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