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Communication Dans Un Congrès Année : 2006

MEMS design process: aiming at manufacturability

Matthieu Museau
Cédric Masclet
Serge Tichkiewitch
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00376062 , version 1 (16-04-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00376062 , version 1

Citer

Matthieu Museau, Cédric Masclet, Serge Tichkiewitch. MEMS design process: aiming at manufacturability. IDMME 2006, 2006, Grenoble, France. pp.ISBN: 2-9523979-1-0. ⟨hal-00376062⟩
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