Tunable bimetallic microresonator formed on an isolated flexible beam - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Brevet Année : 2004

Tunable bimetallic microresonator formed on an isolated flexible beam

G. Bouche
  • Fonction : Auteur
P. Ancey
  • Fonction : Auteur
G. Caruyer
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

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https://hal.science/hal-00372446

Soumis le : mercredi 1 avril 2009-11:13:24

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00372446 , version 1 (01-04-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00372446 , version 1

Citer

G. Bouche, P. Ancey, G. Caruyer. Tunable bimetallic microresonator formed on an isolated flexible beam. Patent n° : EP1468960 (A2). 2004. ⟨hal-00372446⟩

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