Réalisation de grille nitrure de longueur inférieure à 100nm pour des applications haute fréquence de HEMTs AlGaN/GaN - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Réalisation de grille nitrure de longueur inférieure à 100nm pour des applications haute fréquence de HEMTs AlGaN/GaN

S. Boulay
  • Fonction : Auteur
Virginie Hoel
S. Touati
  • Fonction : Auteur
E. Delos
  • Fonction : Auteur
Christophe Gaquière
Jean-Claude de Jaeger
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
M.A. Poisson
  • Fonction : Auteur
S. Delage
  • Fonction : Auteur
Y. Cordier

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https://hal.science/hal-00370327

Soumis le : mardi 24 mars 2009-10:23:21

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00370327 , version 1 (24-03-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00370327 , version 1

Citer

S. Boulay, Virginie Hoel, S. Touati, E. Delos, Christophe Gaquière, et al.. Réalisation de grille nitrure de longueur inférieure à 100nm pour des applications haute fréquence de HEMTs AlGaN/GaN. 15èmes Journées Nationales Microondes, JNM 2007, 2007, France. pp.5C1-1-4. ⟨hal-00370327⟩

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