AlN thin film for bulk acoustic wave resonator - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2008

AlN thin film for bulk acoustic wave resonator

Ji Fan
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 919485
MINACOM
Matthieu Chatras
MINACOM
Aurelian Crunteanu
MINACOM
A. Bassam
  • Fonction : Auteur
Corinne Champeaux
Axe 2 : procédés de traitements de surface
CV
Alain Catherinot
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 915830
Axe 2 : procédés de traitements de surface
Dominique Cros
MINACOM
CV

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https://hal.science/hal-00367406

Soumis le : mercredi 11 mars 2009-10:58:05

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:14

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00367406 , version 1 (11-03-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00367406 , version 1

Citer

Ji Fan, Matthieu Chatras, Aurelian Crunteanu, A. Bassam, Corinne Champeaux, et al.. AlN thin film for bulk acoustic wave resonator. 3rd International Workshop on Advanced Ceramics (IWAC03), Nov 2008, LIMOGES, France. ⟨hal-00367406⟩

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