A MEMS type cantilever structure for the evaluation of d31, d33 and e31 piezoelectric coefficient - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007

A MEMS type cantilever structure for the evaluation of d31, d33 and e31 piezoelectric coefficient

R. Herdier
  • Fonction : Auteur
D. Jenkins
  • Fonction : Auteur
Denis Remiens
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
M. Dupont
D. Osmont
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00367388

Soumis le : mercredi 11 mars 2009-10:36:47

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00367388 , version 1 (11-03-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00367388 , version 1

Citer

R. Herdier, D. Jenkins, Denis Remiens, M. Dupont, D. Osmont. A MEMS type cantilever structure for the evaluation of d31, d33 and e31 piezoelectric coefficient. Proceedings of the 16th International Symposium on the Application of Ferroelectrics, XVI ISAF 2007, 2007, Nara, Japan. ⟨hal-00367388⟩

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