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Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Metallic source/drain architecture : status and prospects

Emmanuel Dubois
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
G. Larrieu
  • Fonction : Auteur
N. Breil
  • Fonction : Auteur
M. Ostling
  • Fonction : Auteur
P.E. Hellström
  • Fonction : Auteur
N. Reckinger
  • Fonction : Auteur
Xing Tang
  • Fonction : Auteur
S. Mantl
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00367349

Soumis le : mercredi 11 mars 2009-09:42:25

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00367349 , version 1 (11-03-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00367349 , version 1

Citer

Emmanuel Dubois, G. Larrieu, N. Breil, M. Ostling, P.E. Hellström, et al.. Metallic source/drain architecture : status and prospects. SINANO-ESSDERC Workshop, 2007, Munich, Germany. ⟨hal-00367349⟩

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