HAL will be down for maintenance from Friday, June 10 at 4pm through Monday, June 13 at 9am. More information
Skip to Main content Skip to Navigation
Other publications

Elaboration et caractérisations de films ferroélectriques relaxeurs de PMN-PT : intégration sur silicium et applications MEMS

M. Detalle 1
1 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Document type :
Other publications
Complete list of metadata
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00362347
Contributor : Collection Iemn Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Wednesday, February 18, 2009 - 8:31:16 AM
Last modification on : Wednesday, March 23, 2022 - 3:50:22 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-00362347, version 1

Collections

IEMN | CNRS | UNIV-LILLE | UNIV-VALENCIENNES

Citation

M. Detalle. Elaboration et caractérisations de films ferroélectriques relaxeurs de PMN-PT : intégration sur silicium et applications MEMS. 2008. ⟨hal-00362347⟩

Export

BibTeX TEI DC DCterms EndNote Datacite

Share

Metrics

Record views

9