Isolation mésa par gravures humide et sèche des HEMTs AlSb/InAs sur substrat InP - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2008

Isolation mésa par gravures humide et sèche des HEMTs AlSb/InAs sur substrat InP

A. Olivier
  • Fonction : Auteur
T. Gehin
  • Fonction : Auteur
L. Desplanque
X. Wallart
J. Cheng
  • Fonction : Auteur
Nicolas Wichmann
Yannick Roelens
Gilles Dambrine
A. Cappy
S. Bollaert
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

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https://hal.science/hal-00361522

Soumis le : lundi 16 février 2009-10:11:17

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00361522 , version 1 (16-02-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00361522 , version 1

Citer

A. Olivier, T. Gehin, L. Desplanque, X. Wallart, J. Cheng, et al.. Isolation mésa par gravures humide et sèche des HEMTs AlSb/InAs sur substrat InP. 11èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique, JNRDM 2008, 2008, Bordeaux, France. ⟨hal-00361522⟩

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