Investigation on the platinum silicide Schottky barrier height modulation using a dopant segregation approach - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2008

Investigation on the platinum silicide Schottky barrier height modulation using a dopant segregation approach

N. Breil
  • Fonction : Auteur
A. Halimaoui
  • Fonction : Auteur
Emmanuel Dubois
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
E. Lampin
  • Fonction : Auteur
L. Godet
  • Fonction : Auteur
G. Papasouliotis
  • Fonction : Auteur
G. Larrieu
  • Fonction : Auteur
T. Skotnicki
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00360805

Soumis le : jeudi 12 février 2009-08:11:53

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00360805 , version 1 (12-02-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00360805 , version 1

Citer

N. Breil, A. Halimaoui, Emmanuel Dubois, E. Lampin, L. Godet, et al.. Investigation on the platinum silicide Schottky barrier height modulation using a dopant segregation approach. Materials Research Society Spring Meeting, MRS Spring 2008, Symposium E : Doping Engineering for Front-End Processing, 2008, United States. pp.85-90. ⟨hal-00360805⟩

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