 |
Free and accessible knowledge |
Journal articles
Comparative analysis for the local piezoelectric properties of ion beam and reactive ion beam etched Pb(Zr,Ti)O-3 thin films
C. Blach-Legrand
Author
S. Saitzek
Author IdHAL : sebastien-saitzek ORCID : https://orcid.org/0000-0003-1403-5397
A. da Costa
Author
R. Desfeux
Author
Caroline Soyer
Author Employer institution : Université Polytechnique Hauts-de-France IdHAL : caroline-soyer
Denis Remiens 1
Author Employer institution : Université Polytechnique Hauts-de-France IdHAL : denis-remiens ORCID : https://orcid.org/0000-0002-6761-1442
1
IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 ([Univ. Lille, CNRS, Ecole Centrale Lille, Yncréa-ISEN, UVHC] ––
Laboratoire Central – Cité Scientifique – Avenue Poincaré – CS 60069 – 59652 VILLENEUVE D’ASCQ CEDEX - France)
- Centrale Lille (École Centrale de Lille - Cité Scientifique - CS 20048 59651 Villeneuve d'Ascq Cedex - France)
- Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN) (France)
- UVHC - Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (Campus Mont Houy 59313 Valenciennes Cedex 9 - France)
- Université de Lille (Lille - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8520 (France)
- UPHF - Université Polytechnique Hauts-de-France (Campus Mont Houy 59313 Valenciennes Cedex 9 - France)
Document type :
Journal articles
Complete list of metadata
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00360338
Contributor : Collection Iemn Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Wednesday, February 11, 2009 - 8:32:04 AM
Last modification on : Wednesday, March 23, 2022 - 3:50:22 PM
Contributor : Collection Iemn Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Wednesday, February 11, 2009 - 8:32:04 AM
Last modification on : Wednesday, March 23, 2022 - 3:50:22 PM
Identifiers
- HAL Id : hal-00360338, version 1
- DOI : 10.1080/10584580802096614
Collections
IEMN | CNRS | UNIV-LILLE | UNIV-VALENCIENNES
Citation
C. Blach-Legrand, S. Saitzek, A. da Costa, R. Desfeux, Caroline Soyer, et al.. Comparative analysis for the local piezoelectric properties of ion beam and reactive ion beam etched Pb(Zr,Ti)O-3 thin films. Integrated Ferroelectrics, Taylor & Francis, 2008, 98, pp.230-240. ⟨10.1080/10584580802096614⟩. ⟨hal-00360338⟩
Metrics
Record views