Silicon on nothing MEMS electromechanical resonator

C. Durand; F. Casset; P. Ancey; F. Judong; A. Talbot; R. Quenouillere; D. Renaud; S. Borel; B. Florin; L. Buchaillot

doi:10.1007/s00542-007-0485-z

Article Dans Une Revue Microsystem Technologies Année : 2008

Silicon on nothing MEMS electromechanical resonator

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C. Durand

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F. Casset

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P. Ancey

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F. Judong

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A. Talbot

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R. Quenouillere

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D. Renaud

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S. Borel

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B. Florin

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L. Buchaillot

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PersonId : 180198
IdHAL : lionel-buchaillot
ORCID : 0000-0002-9844-0498
IdRef : 060779136

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

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https://hal.science/hal-00357280

Soumis le : vendredi 30 janvier 2009-08:24:20

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Dates et versions

hal-00357280 , version 1 (30-01-2009)

Identifiants

HAL Id : hal-00357280 , version 1
ARXIV : 0802.3051
DOI : 10.1007/s00542-007-0485-z

Citer

C. Durand, F. Casset, P. Ancey, F. Judong, A. Talbot, et al.. Silicon on nothing MEMS electromechanical resonator. Microsystem Technologies, 2008, 14, pp.1027-1033. ⟨10.1007/s00542-007-0485-z⟩. ⟨hal-00357280⟩

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