Silicon nanoparticles formation in annealed SiO/SiO2 multilayers

I. Kovacevic; P. Dubcek; S. Duguay; H. Zorc; N. Radic; B. Pivac; A. Slaoui; S. Bernstorff

Article Dans Une Revue Physica E: Low-dimensional Systems and Nanostructures Année : 2007

Silicon nanoparticles formation in annealed SiO/SiO2 multilayers

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I. Kovacevic

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P. Dubcek

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S. Duguay

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PersonId : 174454
IdHAL : sebastien-duguay
ORCID : 0000-0002-7039-6018

Institut d'Electronique du Solide et des Systèmes

CV

H. Zorc

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N. Radic

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B. Pivac

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A. Slaoui

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Institut d'Electronique du Solide et des Systèmes

S. Bernstorff

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Marie-Anne Jung : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00349867

Soumis le : lundi 5 janvier 2009-10:42:22

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:51

Dates et versions

hal-00349867 , version 1 (05-01-2009)

Identifiants

HAL Id : hal-00349867 , version 1

Citer

I. Kovacevic, P. Dubcek, S. Duguay, H. Zorc, N. Radic, et al.. Silicon nanoparticles formation in annealed SiO/SiO2 multilayers. Physica E: Low-dimensional Systems and Nanostructures, 2007, 38, pp. 50-53. ⟨hal-00349867⟩

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