Reactively sputtered iron oxynitride coatings: comparison between reactive gas pulsing and conventional processes - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Reactively sputtered iron oxynitride coatings: comparison between reactive gas pulsing and conventional processes

C. Rousselot
  • Fonction : Auteur
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
C. Petitjean
  • Fonction : Auteur
M. Grafoute
  • Fonction : Auteur
O. Banakh
  • Fonction : Auteur
J. F. Pierson
CV

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https://hal.science/hal-00346150

Soumis le : jeudi 11 décembre 2008-10:35:15

Dernière modification le : jeudi 13 avril 2023-09:26:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00346150 , version 1 (11-12-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00346150 , version 1

Citer

C. Rousselot, C. Petitjean, M. Grafoute, O. Banakh, J. F. Pierson. Reactively sputtered iron oxynitride coatings: comparison between reactive gas pulsing and conventional processes. 10th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE'2006), Sep 2006, Germany. ⟨hal-00346150⟩

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